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特种气体运送系统的设置有哪些划定?

特种气体运送系统很是考究清静，对装备设置有许多规范，在操作设计上也有许多的要求，这里主要先容下特种气体运送系统装备设置规范及特气系统清静要求
。

特种气体运送系统概述

在现代半导体、科研实验室、综合厂房的集中供气系统中，气瓶柜、气瓶架已经成为钢瓶气体的标配，那么这些GR、GC的设置有什么要求呢?相信许多业主和用户并没有一个清晰的看法，只有相识了规范化的要求，才华在厂房、实验室的建设中合理妄想结构、清静使用
。

特种气体运送系统装备设置规范

电子特气管道系统

1、GC、GR可接纳单工艺气瓶外置吹扫氮气(源)瓶(单瓶式)、双工艺气瓶外置吹扫氮气、双工艺气瓶内置吹扫氮气等多种结构设置
。

2、GC、GR 应设置作业用气体面板
。

3、系统的供应能力应经由热力学和流体力学盘算核实
。

4、气瓶柜闭门时应坚持不低于100Pa负压，柜内的排风换气次数不得低于300次/H 
。

5、GC板材厚度不得低于2.5mm，并有放侵蚀涂层
。

6、GC门应具备自动关闭功效，并配备防爆玻璃视察窗，地脚螺栓设计应知足外地地动设防烈度的要求
。

电子特气管道系统

特气系统清静要求

1、不相容气体瓶严禁安排于统一气瓶柜或气瓶架中
。

2、自然性、可燃性、毒性、侵蚀性气瓶柜应在排风出口设置气体泄露侦测器
。

3、GC、GR应设置清晰明确的清静标识牌

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