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气体管道系统中气体与管道的关系：

近年来以大规模集成电路为代表的微电子产品生产对高纯气体的纯度和杂质含量的日益严酷的要求
，使高纯气体的配管手艺日益受到关注和重视。以下针对高纯气体运送从选材到施工以及验收、一样平常管理作个简朴的概述。

常见气体的种类

电子行业中常见气体的分类：

通俗气体
，也称大宗气体 (Bulk gas )：氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(A2)等

特种气体(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6??等等

特殊气体的种类一样平常可分为侵蚀性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等
，一样平常常用的半导体气体分类如下：

(一)、侵蚀性 / 毒性：HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 ?等

(二)、可燃性：H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO?等

(三)、助燃性：O2、Cl2、N2O、NF3?等

(四)、惰性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He?等

半导体气体许多是对人体有害。特殊是其中有些气体如SiH4的自燃性
，只要一走漏就会与空气中的氧气起强烈反应
，最先燃烧;尚有AsH3的剧毒性
，任何些微的走漏都可能造成职员生命的危害
，也就是由于这些显而易见的危险
，以是关于系统设计清静性的要求就特殊高。

高纯气配管手艺是高纯气体管道系统的主要组成部分
，是能否将合符要求的高纯气体送至用气点仍坚持质量及格的要害手艺;所谓高纯气配管手艺包括系统的准确设计、管件及附件的选择、施工装置和试验测试等内容。

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